光学半导体检测

光学半导体检测通常极具挑战，由于检测目标对象微小和各元件配置于晶圆上的复杂情况。而且，晶圆检测结果的质量至关重要，如果不满足要求，将会带来一定风险。因此，具有极高速度和分辨率能力的机器视觉系统在半导体检测中意义非凡。本文针对半导体检测过程中常遇到的图案化晶圆和非图案化晶圆的光罩检测、变形导线的识别和标记特征的存在及缺失等挑战，提出了解决方案。同时，揭示了 Phantom S640 机器视觉在光学半导体检测中不折不扣的高水准分辨率和速度。